用于校准的内测千分尺测量螺钉及其环规应无碰伤、锈蚀或其他缺陷；差动油缸上的刻度线应清晰、均匀，无任何影响校准和计量特性的因素。通过手动测试和观察，检查各部件的相互作用，检查各组件的配合是否明显松动，差动缸和测微螺钉的运动应平稳无卡滞，测力装置应完好。

使用杠杆千分尺用内测千分尺测量表面的平行度，并在测量爪的两端进行测量。获得的尺寸差是测量表面的平行度。

示值误差的校准：如果内测千分尺的示值误差均匀分布在固定套筒和差动缸的整个刻度范围内，则应至少校准5个点，并使用3级标准环规。首先，校准零点位置，然后校准环规工作表面的中间部分。也可以使用由5个等径试块和量块附件组成的内部尺寸校准。