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准直仪角度校准解析
首先,设置参考0,即使用激光位移传感器测量目标0的底面,使其高度在345mm±30um范围内。激光位移传感器的重复性为2um。然后在此基础上调整准直仪:将分光镜单元的底座和自动准直仪固定在同一部件上,并在分光镜单元不移动时调整准直仪底座。通过调整底座,来自准直仪的线性光可以穿过分光镜,撞击参考目标0上的反射......
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