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准直仪角度校准解析
来源: | 发布日期:2022-12-29

首先,设置参考0,即使用激光位移传感器测量目标0的底面,使其高度在345mm±30um范围内。激光位移传感器的重复性为2um。然后在此基础上调整准直仪:将分光镜单元的底座和自动准直仪固定在同一部件上,并在分光镜单元不移动时调整准直仪底座。通过调整底座,来自准直仪的线性光可以穿过分光镜,撞击参考目标0上的反射玻璃表面,然后反射回准直仪的原点。

分光镜单元包括分光镜和反射器。左侧是分光镜,右侧是反射器。

什么是分光镜?

分光镜是一种将光束分成两束的光学元件。它的原理也很简单。说白了,就是反射和折射。

例如,这里,从左侧进入的光被分为右透射光束和向下反射光束,每个光束占光的50%(涂有B270超白玻璃)。右光束将被反射并击中目标1以向上测量。向下的光束直接击中待测目标2和3,并分别测量2和3。然后校准三个目标。准直仪和分光镜是固定的。分别调整要校准的三个目标的倾斜度,使返回的分划板回落至准直仪原点,校准完成。

当然,这里是由相机传感器捕获并显示在软件上的图像的来源。准直仪的测量精度为3.3弧秒,即3.3/3600=0.00091667°。

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